二手日本16B缤井HAMAI蓝玻璃双面抛光机-蓝玻璃双面平磨机

二手日本16B缤井HAMAI蓝玻璃双面抛光机-蓝玻璃双面平磨机设备照片

设备介绍

日本16B缤井HAMAI硅片抛光机-硅片平磨机-半导体全自动抛光研磨机

本机主要用于硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面研磨。本机从设备的结

构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。三.主要技术参数 1.研磨盘尺寸(mm): φ1118x φ386 x50

2.游轮参数:英制:齿数Z=200 DP=12 a=20°公制:齿数Z=142 m=3 a=20° 3.游轮数量: 5片4.修正轮数量: 4片5.最小研磨厚度: 0.50mm/

φ125,0.40mm/p100, 0.35mm/φ75 6.研磨厚度: 30mm 7.研磨直径及片数φ75/17片φ100/8片φ125/5片8.研磨直径: φ350 mm

日本16B缤井HAMAI硅片抛光机-硅片平磨机-半导体全自动抛光研磨机特点

流体动压驱动轴承;全型号的标准设备(我公司的专利).

用油压浮起下定盘,使之耐负荷及无震动旋转.

。维持平面度周期;大部分机械的标准设备.

加工工件时以顺时针与逆时针方向旋转游星片来保持平面度.

。3轴系统;BN系列

上定盘不旋转的新型研磨机，用线吊起上定盘提高随定盘移动能力，提高产量，我们用批量生产来降

低成本.

。单面研磨机/抛光机;HS系列

流体动压驱动轴承是从双面研磨机上获得的技术基础上作为标准设备安装加工一个游星片时也要

确保稳定工作。

游星轮个数:5个:游星轮直径:428MM;齿数量:200个;电机个数: 4个(上盘一个下盘一个中心齿圈一个外齿圈一个);电压: 380V，机器总用电功率约:22KW）外形尺寸约:1700*1900*3300MM;设备重量约:7000KG。